潔淨烘箱型號：Class-980A/B

簡要描述：產品廣泛應用晶圓片的硬烤、軟烤，LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室、航天航空等眾多工業領域的預熱、老化、烘烤、熱固化、淬火去應力等工藝。

產品型號：Class-980A/B
更新時間：2024-11-01
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細節圖解

潔淨烘箱型號：Class-980A/B

產品特點：

該設備是一種新型工業級潔淨幹燥設備，采用獨特的內外艙分體結構結合內循環風道設計，通過耐高溫超高效過濾器H.E.P.A不斷對內部進行自淨化過濾，從而形成高潔淨、溫度均勻的密閉的高溫熱風烘烤環境。

產品用途：

產品廣泛應用晶圓片的硬烤、軟烤，LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室、航天航空等眾多工業領域的預熱、老化、烘烤、熱固化、淬火去應力等工藝。

結構特點：

外殼：外部采用1.2mm厚優質冷軋鋼板經防鏽處理後噴塑，也可選用不鏽鋼材質。

內膽：采用SUS304鏡麵不鏽鋼厚度1.2-1.5mm厚度之鏡麵不鏽鋼板，采用圓弧R角滿焊處理，易清理，並經堿性蘇打水清潔，去油汙避免烘烤時產生 PARTICLE1。

保溫層：采用高級保溫棉，六麵保溫斷熱，保溫厚度為80mm-150mm，保溫性能好。

載物層架：可根據物品大小調節層間距，空間利用率高。

控製係統：

★控製麵板：采用PID自動演算，7寸觸摸屏顯示，溫度、時間、曲線、可編程分段設置等參數

報警功能：帶傳感器斷線報警功能，帶超溫警報保護功能，確保產品運行安全

★加熱管：加熱管位於設備背麵（可以有效避免液體滴到加熱管上引起爆燃現象）

風道結構：

風道結構：風道采用背部吸風，上下及兩側四麵吹風，確保箱內溫度均勻性，采用高密度衝孔風板。

送風裝置：采用大功率三相異步耐高溫型長軸靜音馬達+大口徑不鏽鋼渦輪扇葉，渦輪經水平糾正處理，確保運風平穩。

送風裝置安全保護係統：帶超溫過載過流保護功能，確保馬達及風機的使用壽命和安全性能。

電加熱係統：采用覆套式不鏽鋼無塵化電熱發生器，潔淨不產塵。

潔淨循環係統：

采用平麵水平後邊送風後，經耐高溫高效過濾器H.E.P.A裝置往上下及兩側四麵(特殊風道設計)方向送風，0.3um直徑PARTICLE，過濾效率99.97%，箱內潔淨度可達Class 100。

排氣口：(附自動啟閉風門)，以達到強烈循環效果而降溫。

壓差計：進口壓差計，可實時監控H.E.P.A工作狀態。

配全自動開關排風門，烘烤過程風門緊閉，確保內部對外封閉，防止外部排風PARTICLE回塵汙染

安全功能：

采用超溫保護係統，確保箱體在運行過程中的整體安全性能。

箱體內部電器保護係統（確保箱體內部電器運行平穩，安全可靠）：

超溫防止器（獨立限溫，超溫斷電）；

相序保護（欠壓欠相保護）；

馬達過電流保護；

控製線路保險絲；

電熱過電流保護；

無熔絲開關。

參數介紹：

產品名稱	潔淨烘箱
產品型號	Class-980A	Class-980B
顯示方式	7寸觸摸屏顯示，TIMI/富士品牌
電源電壓	AC380V 50HZ（三相五線製）
控溫範圍	室溫+10～200℃	室溫+10～300℃
溫度分辨率	0.1℃
波動度	±1℃
均勻度	±1.5%
循環方式	強製對流
進氣口	Φ16mm
箱內潔淨度	Class100/Class1000/Class10000
過濾器	耐高溫高效過濾器
定時方式	1-9999min
輸入功率	17KW
內膽尺寸（WDH）mm	14007001000
外形尺寸（WDH）mm	195010551790
開門方式	雙開門
載物托架（標配）	2層（承重30KG）
定時範圍	0～9999min/h
容積	980L
重量	730KG
備注： 1.以上所有機型外觀尺寸僅供參考，實際尺寸以實物為準； 2.產品內部尺寸可根據客戶要求進行非標定製

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